本文旨在为潜在用户或新手用户提供XPS的技术介绍,包括基本原理: (1)光电效应, (2)电子如何与物质相互作用并从表面逃逸,以及这如何决定该技术的表面灵敏度, (3)元素周围的化学环境如何影响其电子的结合能。 另外,对仪器功能和样品制备也进行了阐述,这也有助于新手理解数据是如何获得的。 1 XPS技术的作用及历史 XPS是最广泛的表面分析技术之一,本文只涉及XPS技术的基本理解。 最近的一篇文章记录了文献中对材料科学表征数据的常见误解1。 1 M. R. Linford et al., Proliferation of Faulty Materials Data Analysis in the Literature.Microsc. Microanal. (2020).